在含尘量极少、含湿量低、常温并且温度波动小的低浓度的在机废气VOCs,才能利用短波紫外线光束照射VOCs气体,使其废气中的氧转换成臭氧等,氧化分解VOCs气体中可氧化分解的成分,达到净化VOCs的目的。此种方法适应性差、要求紫外线灯管质量高、短波整流器易发热损坏、稳定性差等,同时要求其净化VOCs气体成份、气量稳定,还得有足够的停留时间等原因,发展受到限制。如家用消毒柜,至少密闭15分钟,方能消毒。