等离子法

工艺流程：收集→主管道→过滤/喷淋→脉冲放电等离子→喷淋塔→风机→烟囱排放

净化原理：

　　通过大功率纳秒级脉冲电源，在等离子体反应器内高压放电产生富含极高化学活性的粒子（高能电子和正负离子），即：在两端强电场作用下，电子加速获得高达5~20eV的能量，碰撞气体分子后，将废气中的氧气和水汽等分解产生具有强氧化能力的自由基（OH、O）、超氧化氢（HO₂）等活性物质，这些具有较高能量的活性基团与废气中的有机物发生氧化反应，最终转化为CO₂、H₂O或小分子等物质，其中H₂S被氧化成硫酸或亚硫酸，NH₃被电离分解后氧化生成硝酸或亚硝酸而溶解于水中，从而达到废气净化的目的。

　　国内目前众多电晕放电等离子采用的均是直流电源供电技术，因电压限制电场强度不够，不足以产生大量等离子体，其效果只是目前除尘技术和油烟净化技术的嫁接，只能解决粉尘颗粒物的收集去除,无法去除分解气态的VOCs气体。因此，采用大功率纳秒级窄脉冲电源放电等离子体技术处理企业污水产生的废气，利用放电产生的高能电子将废气中的恶臭气体和有机污染物分解、氧化成水溶性较强的含氧小分子物质，再经由喷淋吸收处理的方案较为合理。

整个过程发生的主要化学反应有：

技术适用性:

其主要的应用领域包括：

1） 恶臭的消除，如污水处理厂、堆肥厂、污泥处理、烟草工业、食品工业、塑料工业、生物发酵等地方产生的臭气；

2） 空气净化，如空调或其他场合的应用；

3） 废气中低浓度溶剂的去除，如油漆、印刷等工业；

4） 净化有毒物质。

　　在特定的场合该设备处理效果好，而且能耗低（2~5W/m³废气），投资少，因此该产品具有良好的商业应用前景。由于低温等离子体对污染物进行净化的过程中，会有大量的中间物生成，部分被彻底氧化成CO2和H2O，部分未被完全氧化，需要与其他的吸收工艺相结合，保证废气的净化效果，比如等离子体—催化工艺和等离子—吸附（吸收）工艺。